茨城大学
工学部
マテリアル工学科

講師

永野 隆敏

ナガノ タカトシ
NAGANO Takatoshi
  • 1973年生まれ

経歴

  1. 明治大学情報処理科学センター プログラム相談員 1996/04-1999/03
  2. 明治大学理工学部機械情報工学科 設計・CAD 教育補助 1996/04-1999/03
  3. 法政大学第二教養兼任助手 1999/04-2000/03
  4. 明治大学理工学部専任助手 1999/04-2002/03
  5. 武蔵大学経済学部兼任講師 2000/10-2002/03

学歴

  1. 明治大学 理工学研究科 機械工学

学位

  1. 修士(工学) 明治大学
  2. 博士(工学) 明治大学

論文

  1. 研究論文(学術雑誌) 共著 Screening of Undesirable Elements Raising the Electrical Resistivity in Very Narrow Cu Wires by Ab Initio Calculation Takatoshi Naganoz, Kunihiro Tamahashi, Takashi Inami, Yasushi Sasajima, Jin Onuki Journal of The Electrochemical Society The Electrochemical Society 164/ 9, D558-D563 2017/07/05 10.1149/2.0621709jes We estimated segregation energy for compound impurities at the grain boundary in very narrow Cu wires using the ab initio calculation. From the calculation results, we clarified that the impurities such as FeO, Fe(ClO), TiO and Ti(ClO) have a strong segregation tendency at the Cu grain boundaries. The FE-TEM observation results of the Cu wires with Fe impurity atoms confirmed that the impurity atoms led to smaller grain sizes than the impurity-free case. The resistivity was measured as a function of the Cu wire width for various Fe impurity concentrations and the wire resistivity became higher with increased impurity concentration.
  2. 研究論文(学術雑誌) 共著 第一原理計算によるAl–Zn–Mg合金中の水素の存在位置の解析 永野 隆敏, 篠嶋 妥, 伊藤 吾朗 軽金属 一般社団法人 軽金属学会 66/ 7, 339-344 2016/08/30
  3. 研究論文(学術雑誌) 共著 Pinning Effect of Fe(ClO) and Ti(ClO) Compounds on Cu Grain Growth in Very Narrow Cu Wires Takatoshi Nagano, Yasushi Sasajima, Nobuhiro Ishikawa, Kunihiro Tamahashi, Kishio Hidaka and Jin Onuki ECS Electrochemistry Letters 4/ 11, D1-D5 2015
  4. 研究論文(学術雑誌) 共著 Search for Barrier Materials for Cu Interconnects in Integrated Circuits Yasushi Sasajima, Yuki Kimura, Tetsunori Tsumuraya, Takatoshi Nagano and Jin Onuki ECS J. Solid State Sci. Tech. 2, 351-356 2013
  5. 研究論文(学術雑誌) 共著 Cs-Corrected STEM Observation and Atomic Modeling of Grain Boundary Impurities of Very Narrow Cu Interconnect Takatoshi Nagano,z Kunihiro Tamahashi, Yasushi Sasajima, and Jin Onuki ECS Electrochemistry Letters 2/ 6, H23-H25 2013/03/09 10.1149/2.001306eel

研究発表

  1. 口頭発表(一般) 第一原理計算によるAl-Zn-Mg合金中の水素の存在位置の解析 軽金属学会 講演大会 第131回秋期大会 2016/11/06
  2. 口頭発表(招待・特別) 材料開発における界面や表面を扱ったナノレベルシミュレーションとその有用性について 軽量化技術研究室・2011年度前期研究発表会 2011/08/17
  3. 口頭発表(一般) 第一原理計算によるβ-FeSi2(101)表面構造解析 第13回シリサイド系半導体研究会 2009/04/03 β-FeSi2 (101)表面における電子密度分布を計算し、どのような構造が表面として安定化を、第一原理計算により推測した。

知的財産権

  1. 特許 半導体集積回路装置用Ruバリア膜 特願2011-33019 2011

受賞

  1. 日本鉄鋼協会 秋季講演大会学生ポスターセッション優秀賞 Fe/TiC (Baker-Nutting) 整合部界面における 構造と界面エネルギーの第一原理計算 2008/09/24

担当授業科目

  1. 計算材料学基礎
  2. 第一原理計算特論Ⅰ
  3. 情報処理概論
  4. 第一原理計算特論Ⅱ

所属学協会

  1. 日本鉄鋼協会
  2. 日本金属学会
  3. 軽金属学会 2016/01-現在
  4. 応用物理学会 2008/08-現在

委員歴

  1. 日本金属学会 編集委員 2011/04/01-2013/03/31