著書

公開件数: 2 件
No. タイトル 著者 担当範囲 出版社 出版日 ISBN URL 概要
1 プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例


サイエンス&テクノロジー
2018/09/27
978-4-86428-170-6


2 ディスプレイ・光学部材における薄膜製造技術


情報機構
2007/08/30
978-4-901677-83-7

ディスプレイ・光学部材の薄膜製造技術についてまとめたハンドブックにてプラズマCVDによる酸化チタン薄膜の形成法について解説