知的財産権

公開件数: 7 件
No. 種別 名称 出願番号 出願日 公開番号 公開日 公表番号 公表日 登録番号 登録日
1 特許
銅の成膜装置、銅の成膜方法、銅配線形成方法、銅配線
特願2016-35760
2016/02/26

2017/08/31




2 特許
テラヘルツ波を用いた異物検査装置及びその方法

2013/06/21




6061197
2016/12/22
3 特許
テラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析方法およびテラヘルツ電磁波を用いた試料の構造分析装置
特願2008-39555
2008/02/21
特開2009-198278



特許第4817336
2011/09/09
4
水の分解方法及びその装置
特願2001-63342
2001/03/07
特開2002-266089





5
半導体素子の製造方法
平成06年特許願第218743号
1994/09/13




特許第3283703号
2002/03/01
6
FABRICATING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE






US 6,284,587 B1
2001/09/04
7
キャパシタ及びその製造方法
平成05特許願第091618号
1993/04/19




特許第3117320号
2000/10/06