知的財産権

公開件数: 4 件
No. 種別 名称 出願番号 出願日 公開番号 公開日 公表番号 公表日 登録番号 登録日
1 特許
GaあるいはSnでドーピングされたバルク状マンガンシリサイド単結晶体あるいは多結晶体およびその製造方法
特願2010-75467
2010/03/30






2 特許
シリコン薄膜または同位体濃縮シリコン薄膜の製造方法


2008-303078
2008/12/18




3 特許
β-FeSi2結晶の製造法および製造装置

2000/06/16
2002-3300



3912959
2007/02/09
4 特許
鉄シリサイド結晶の製造方法

1999/02/22
2000-247624



3891722
2006/12/15