茨城大学
大学院理工学研究科
量子線科学専攻

顔写真
准教授

佐藤 直幸

サトウ ナオユキ
SATO Naoyuki
  • 1962年生まれ

学歴

  1. 東北大学大学院 工学研究科 電子工学専攻 博士後期 1990/03 修了
  2. 宇都宮大学 工学部 電気工学科 1985 卒業

学位

  1. 工学博士 東北大学 1990/03

研究分野

  1. プラズマ理工学

研究キーワード

  1. プラズマの生成,制御,及び,その機能性材料・デバイスへの応用

研究テーマ

  1. 複合化合物材料の合成に向けた選択的運動量制御型プラズマ成膜技術の開発 2004-2006

論文

  1. 共著 亜鉛-酸素混合プラズマを用いた高機能ZnO透明導電膜の低抵抗化プロセス 佐藤直幸, 野中翔太,竹田直樹,池畑 隆,佐藤達志 平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会資料 電気学会 18-D-p2-2, 287-292 2015
  2. 共著 マルチプラズマイオンプレーティングに向けたデュアルZnO透明導電膜合成装置の開発 佐藤直幸, 大木 浩,根矢和次,佐藤達志 電気学会プラズマ研究会資料 電気学会 PST-14-011, 53-58 2014
  3. 高機能ZnO透明導電膜のシート抵抗低減に向けた亜鉛-酸素混合プラズマの高密度化 佐藤 直幸, 吉崎 正洋, 池畑 隆 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2012/ 85, 63-68 2012/12/10 URL
  4. 研究論文(学術雑誌) 共著 Cu2O系PVセルのECR酸素プラズマ作製におけるセル特性のプロセス条件依存性 電気学会プラズマ研究会資料 PST−11/ 91-104, 5-10 2011/12/15
  5. 研究論文(国際会議プロシーディングス) 共著 Plasma synthesis of ZnO transparent conductive film for multi-junction solar cells 38th EPS Conference on Plasma Physics (2011) P2.044 2011/06/28

研究発表

  1. 口頭発表(一般) マルチプラズマイオンプレーティングに向けたデュアルZnO透明導電膜合成装置の開発 電気学会プラズマ研究会 2014

知的財産権

  1. 特許 荷電粒子制御装置及び方法 特願2000-350409 特願2002-158209 特許第3377784号
  2. 特許 酸化亜鉛透明導電膜の製造方法及びこの方法を実施するための製造装置 特願2009-113721 2009/05/08 特許第5507882号 2014/03/28
  3. 特許 携帯型大気圧プラズマ発生装置 4963360 2012/04/06
  4. 特許 超微細パターン凹構造の形成方法 JPB_0004346417 2009/07/24
  5. 特許 プラズマ電位測定方法及び装置JPB_0004287724 2009/04/03

所属学協会

  1. 社団法人 電気学会

委員歴

  1. 社団法人 電気学会 プラズマ技術委員会 1号委員 2012/05/16-2015/05/15