Ibaraki University's
Graduate School of Science and Engineering
Major in Quantum Beam Science

顔写真
Associate Professor

SATO Naoyuki

  • Birth:1962

Academic background

  1. Graduate School,Tohoku University Graduate School of Engineering Department of Electronic Engineering Doctor later 1990/03 Completed
  2. Utsunomiya University Faculty of Engineering Department of Electrical Engineering 1985 Graduated

Academic degrees

  1. Doctor of Philosophy in Engineering Tohoku University 1990/03

Research Areas

  1. Plasma Science and Engineering

Research keywords

  1. プラズマの生成,制御,及び,その機能性材料・デバイスへの応用

Subject of research

  1. Plasma application of mass-selective momentum control to complex compound synthesis 2004-2006

Papers

  1. Joint 亜鉛-酸素混合プラズマを用いた高機能ZnO透明導電膜の低抵抗化プロセス 佐藤直幸, 野中翔太,竹田直樹,池畑 隆,佐藤達志 平成27年電気学会基礎・材料・共通部門大会資料 電気学会 18-D-p2-2, 287-292 2015
  2. Joint マルチプラズマイオンプレーティングに向けたデュアルZnO透明導電膜合成装置の開発 佐藤直幸, 大木 浩,根矢和次,佐藤達志 電気学会プラズマ研究会資料 電気学会 PST-14-011, 53-58 2014
  3. 高機能ZnO透明導電膜のシート抵抗低減に向けた亜鉛-酸素混合プラズマの高密度化 佐藤 直幸, 吉崎 正洋, 池畑 隆 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2012/ 85, 63-68 2012/12/10 URL
  4. Research paper (scientific journal) Joint Process condition dependence of PV cell properties by ECR oxygen plasma fabrication of cell based on Cu2O 電気学会プラズマ研究会資料 PST−11/ 91-104, 5-10 2011/12/15
  5. Research paper (international conference proceedings) Joint Plasma synthesis of ZnO transparent conductive film for multi-junction solar cells 38th EPS Conference on Plasma Physics (2011) P2.044 2011/06/28

Research presentations

  1. Oral presentation(general) マルチプラズマイオンプレーティングに向けたデュアルZnO透明導電膜合成装置の開発 電気学会プラズマ研究会 2014

Intellectual property rights

  1. Patent The method and apparatus of charged particle control 特願2000-350409 特願2002-158209 特許第3377784号
  2. Patent 酸化亜鉛透明導電膜の製造方法及びこの方法を実施するための製造装置 特願2009-113721 2009/05/08 特許第5507882号 2014/03/28
  3. Patent 携帯型大気圧プラズマ発生装置 4963360 2012/04/06
  4. Patent 超微細パターン凹構造の形成方法 JPB_0004346417 2009/07/24
  5. Patent プラズマ電位測定方法及び装置JPB_0004287724 2009/04/03

Memberships of academic societies

  1. The Institute of Electrical Engineers of Japan

Committee Career

  1. The Institute of Electrical Engineers of Japan プラズマ技術委員会 1号委員 2012/05/16-2015/05/15