研究発表

公開件数: 17 件
No. 会議種別 タイトル 会議名 開催年月日 URL 概要
1 ポスター発表
Pinning effect of Fe(ClO) compounds on Cu grain growth in very narrow Cu wires : ab initio calculation and Cs-corrected STEM observation
第23回日本MRS年会
2013/12/09

Fe原子がCu粒界に偏析し、Cuの粒成長を阻害し、最終的にFe(ClO)化合物となって粒界3重点に残ることを第1原理計算により導いた。計算結果がCs補正STEM計算とよく合致することを指摘した。
2 口頭発表(一般)
アモルファスSi/Ge積層薄膜における析出過程の計算機実験
日本金属学会2012秋季大会
2012/09


3 口頭発表(一般)
単結晶への高速粒子線照射の分子動力学シミュレーション
日本金属学会2012秋季大会
2012/09


4 口頭発表(一般)
超微細配線中のCu粒成長に及ぼす不純物元素の影響
日本金属学会2012秋季大会
2012/09


5 口頭発表(一般)
薄膜の粒成長に及ぼす基板の影響
日本金属学会2012秋季大会
2012/09


6 口頭発表(一般)
Gd2O3添加CeO2への高速粒子線照射に関する分子動力学シミュレーション
日本金属学会2012秋季大会シンポジウム
2012/09


7 ポスター発表
SiO2 の高エネルギービーム照射によるトラック形成シミュレーション
日本金属学会2011秋季大会
2011/11


8 ポスター発表
Cu 中の不純物の親和性の第一原理計算による評価
日本金属学会2011秋季大会
2011/11


9 ポスター発表
Cu 薄膜の粒成長に及ぼす基板の影響
日本金属学会2011秋季大会
2011/11


10 ポスター発表
UO2の高エネルギービーム照射に関するシミュレーション実験
日本金属学会2011秋季大会
2011/11


11 その他
UO2の高エネルギー・ビーム照射によるトラック形成の解析
日本金属学会2011年春季大会
2011/03


12 ポスター発表
Computer simulation of high-enerugy-beam irradiation of single-crystalline silicon and β-cristobalite
第20回日本MRS学術シンポジウム
2010/12


13 ポスター発表
Characteristics of Ruthenium as barrier materials for Copper wires and search for its substitute materials
第20回日本MRS学術シンポジウム
2010/12


14 口頭発表(一般)
SiO2の高エネルギービーム照射によるトラック形成の解析
日本金属学会2010年秋季大会
2010/09


15 口頭発表(一般)
Cu配線用バリアメタル材料としてのRuの特性と代替材料探索
日本金属学会2010年秋季大会
2010/09


16 ポスター発表
Effects of Impurities on the Grain Growth of Aluminium Film
ICAA12, Yokohama
2010/09


17 口頭発表(一般)
Al系二元合金の等温デンドライト成長:フェーズフィールド法と摂動理論との比較
軽金属学会第103回秋季大会講演
2002/11