茨城大学
理工学研究科(工学野)
電気電子システム工学領域

教授

池畑 隆

イケハタ タカシ
IKEHATA Takashi

その他の所属・職名

  1. フロンティア応用原子科学研究センター
  2. 全学教育機構 総合教育企画部門 兼務教員

経歴

  1. 茨城大学工学部 助手 1983/04-1990/03

学歴

  1. 筑波大学 物理学研究科 物理学 1983 修了

学位

  1. 理学博士 筑波大学

研究分野

  1. プラズマ科学
  2. 原子・分子・量子エレクトロニクス・プラズマ
  3. 材料加工・処理
  4. 薄膜・表面界面物性
  5. プラズマエレクトロニクス
  6. 電子・電気材料工学
  7. 計測工学

研究キーワード

  1. プラズマ材料科学(プラズマ源,イオンシース,電位制御,イオンエネルギー制御,表面改質,成膜) 真空電子デバイス(電子源,ナノエミッター,電界放射,電子ビーム,真空管) レーザーイオン化質量分析法(レーザー共鳴イオン化,質量分析,微量分析,環境分析)

研究テーマ

  1. デュアルプラズマ配位を応用した絶縁性基材の微細加工および表面改質 2005/04-2012/03
  2. プラズマイオン注入法による3次元形状基材の表面改質 1998/04-2008/03
  3. 環境中の有害物質のオンサイト・実時間・超高感度分析法の開発 燃焼排ガス中のダイオキシン類をオンサイト・リアルタイムに測定できる高感度なRIMMPA分析システムの開発研究。レーザー共鳴多光子イオン化質量分析によるダイオキシンの直接測定に成功。 2000/04-2003/02
  4. ナノエミッターを用いたコンパクトな電界放射電子源の開発 2004/04-2009/03
  5. プラズマ遠心分離法による同位体分離 1983-2000
  6. 低エネルギーイオン照射による半導体の超平坦化(イオン研磨法) 2011/04-2012/03
  7. イオナイザによる静電気除電の研究 2009/04-現在
  8. 食品中の残留農薬等の迅速測定法の開発研究 輸入加工食品の中に安全基準を超える農薬が検出され社会問題になった。この研究は、食の安全を担保するために、食品中に微量に残留する農薬を高感度・迅速に測定できるRIMMPA法を基本とするずん席法の開発研究である。 2007/04-現在
  9. プラズマアシストによる熱電半導体マグネシウムシリサイド膜の合成と評価 2011/04-現在

共同・受託研究希望テーマ

  1. 有機エレクトロニクス向け、あるいは真空プロセス向け、静電気除電システム (キーワード) 有機デバイス製造、有機材料、静電気帯電、除電、コロナイオナイザ、 窒素雰囲気 産学連携等、民間を含む他機関等との共同研究を希望 共同研究 成果の一部が静電気学会および電気学会(2014,2015)で発表されていますので 参考にされてください。
  2. ソフトな質量分析法による各種有機化合物(気相、液相、固相)の高感度分析 産学連携等、民間を含む他機関等との共同研究を希望 技術相談,受託研究,共同研究 残留農薬分析実験を実施中。100ngオーダーの数種の農薬の検出に成功。さらに感度と迅速性を探究中。
  3. プラズマイオンプロセス法による3次元形状基材の表面改質 産学連携等、民間を含む他機関等との共同研究を希望 受託研究,共同研究
  4. 新規デュアルプラズマ法によるイオンエネルギー制御用いた絶縁性基材の表面処理 産学連携等、民間を含む他機関等との共同研究を希望 受託研究,共同研究
  5. 新規デュアルプラズマ法によるガラス表面へのナノダイヤモンド成膜 産学連携等、民間を含む他機関等との共同研究を希望 受託研究,共同研究

著書

  1. 電気学会125年史 池畑隆 一般社団法人電気学会 2013/10/11
  2. 放電プラズマ工学 行村建、池畑隆、藤原民也、高木浩一、中村圭二、末松、安藤 オーム社 2008/04
  3. プラズマイオンプロセスとその応用 行村建,政宗貞男,池畑隆,東欣吾,中村圭二,浜口智志,高木浩一,田中武,Wei Ronghua, P.K. Chu オーム社 2005/10
  4. プラズマイオン注入法とその応用 電気学会技術報告 2001/10
  5. Double Layers -Potential Formation and Related Nonlinear Phenomena in Plasmas- 池畑隆、田中博道、佐藤直幸、田辺利夫、真瀬寛 World Scientific 1997 981-02-3301-9

論文

  1. 研究論文(研究会,シンポジウム資料等) 共著 真空中のプラズマ除電のモデル ○池畑隆、包睿達、佐藤直幸 静電気学会講演論文集2018 静電気学会 73-76 2018/09/13
  2. 研究論文(研究会,シンポジウム資料等) 共著 高速バルブを用いたプラズマ放電式除電器の開発 ○峯村和樹、最上智史、野村信雄、池畑隆 静電気学会講演論文集2018 静電気学会 71-72 2018/09/13
  3. 研究論文(研究会,シンポジウム資料等) 共著 ECRプラズマ作製によるCu2O系PVセルの開放電圧向上実験 鈴木祐太,池畑 隆,佐藤直幸 電気学会プラズマ・パルスパワー研究会資料 電気学会 1-6 2018/08/10
  4. 研究論文(研究会,シンポジウム資料等) 共著 プラズマ合成による金属酸化物シート抵抗のダイナミックレンジ制御 大崎圭祐,友岡祥太郎,Cuzovic Tihomir,池畑 隆,佐藤直幸 電気学会プラズマ・パルスパワー研究会資料 電気学会 1-6 2018/08/10
  5. 研究論文(国際会議プロシーディングス) 共著 Static Elimination of Charged Objects in Vacuum by Pulsed Glow Plasma Takashi Ikehata, Ruida Bao, Takeshi Matsuo, Naoyuki Sato Proc. 2018 Electrostatics Joint Conference Electrostatics Society of America 1-9 2018/06/20

研究発表

  1. ポスター発表 レーザーイオン化質量分析による環境中微量物質のリアルタイム分析 第26回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会 2018/11/17 講演番号 IBK-18-070
  2. ポスター発表 マグネシウム誘起結晶化(Mg-MIC)による多結晶シリコン薄膜の低温合成 #2 第26回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会 2018/11/17 講演番号 IBK-18-054
  3. ポスター発表 不純物同定に向けた透明導電膜合成用Zn-O2混合プラズマの光・粒子計測 第26回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会 2018/11/17 講演番号 IBK-18-050
  4. ポスター発表 プラズマ合成ZnO透明導電膜の真空中抵抗計測 第26回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会 2018/11/17 講演番号 IBK-18-049
  5. ポスター発表 プラズマ合成によるZnO透明薄膜におけるシート抵抗のダイナミックレンジ制 御 第26回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会 2018/11/17 講演番号 IBK-18-048

知的財産権

  1. 特許 帯電物体の位置決め方法と除電装置 2018-002302 2018/01/11
  2. 特許 ターゲット損耗検出機構及びそれを備えたスパッタ装置並びにターゲット損耗検出方法 2017-123837 2017/06/26
  3. 特許 除電装置 2016-185417 2016/09/23
  4. 特許 質量分析装置 2011-151647 2011/07/08
  5. 特許 プラズマ加速管の形成方法 特願平7-303228 1995/10/17 特開平9-115687

受賞

  1. 第7回助成研究成果発表会優秀賞 先進プラズマイオンプロセスによる高機能コーティング被膜の形成技術 2009/05/29 副賞
  2. 第58回科学技術庁注目発明 特開平9-115687「プラズマ加速官の形成方法」 1999/04/11

担当授業科目

  1. 電気磁気学Ⅰ及び演習
  2. プラズマ物理学特論Ⅰ
  3. プラズマ物理学特論Ⅱ
  4. プラズマ工学特論Ⅰ-Ⅰ
  5. プラズマ工学特論Ⅰ-Ⅱ

所属学協会

  1. 応用物理学会
  2. プラズマ核融合学会 -2016/03/31
  3. 日本質量分析学会 2017/04/01-現在
  4. 静電気学会 2015/10/01-現在
  5. 電気学会 2002/04/05-現在

委員歴

  1. 電気学会 東京支部茨城支所 支所長 2017/06/01-2018/05/31
  2. 電気学会 電気学会編修専門第一部会 委員 2014/05/01-2015/04/30
  3. 電気学会 電気学会A部門役員(編修担当) 2013/06/01-2015/05/31
  4. 電気学会 電気学会A部門編修委員会副委員長 2013/06/01-2015/05/31
  5. 電気学会 東京支部茨城支所 支所長 2012/05/01-2014/04/30