Ibaraki University's
Graduate School of Science and Engineering
Major in Quantum Beam Science

Professor

IKEHATA Takashi


Other affiliation / position

  1. Frontier Research Center for Applied Atomic Sciences
  2. Institute for University Education and Student Support Office of Institutional Effectiveness 兼務教員

Career

  1. Ibaraki University, Research Associate 1983/04-1990/03

Academic background

  1. University of Tsukuba Graduate School, Division of Physics Psysics 1983 Completed

Academic degrees

  1. Doctor of Science University of Tsukuba

Research Areas

  1. Plasma Science
  2. Atomic/Molecular/Quantum Electronics, Plasma
  3. Material Processing/Treatment
  4. Thin film/Surface and interfacial physical properties
  5. Plasma electronics
  6. Electronic materials/Electric materials
  7. Measurement Engineering

Research keywords

  1. Plasma materials science(plasma sources, ion sheath, potenial control, ion energy control, surface modification, thin-film formation) Vacuum electron devices(electron dsources, nanoemiter, field emission, electron beam, vacuum tube) Laser resonance ionization mass spectrometry(REMPI, mass spectrometry, ultratrace analysis, environmental analysis)

Subject of research

  1. Micro-machining and surface treatment of an insulationg workpiece by the dual plasma 2005/04-2012/03
  2. Surtaee modification of thru-diwensional workpiece by plasuma-based ion implantation 1998/04-2008/03
  3. Development of on-site, real-fine,super-sensitive measurement system for toxic compound in environment 燃焼排ガス中のダイオキシン類をオンサイト・リアルタイムに測定できる高感度なRIMMPA分析システムの開発研究。レーザー共鳴多光子イオン化質量分析によるダイオキシンの直接測定に成功。 2000/04-2003/02
  4. Development of a compact, field-emission electron source with use of nano-emitters 2004/04-2009/03
  5. Isotope separation by plasma centrifuge 1983-2000
  6. 低エネルギーイオン照射による半導体の超平坦化(イオン研磨法) 2011/04-2012/03
  7. イオナイザによる静電気除電の研究 2009/04-Present
  8. 食品中の残留農薬等の迅速測定法の開発研究 輸入加工食品の中に安全基準を超える農薬が検出され社会問題になった。この研究は、食の安全を担保するために、食品中に微量に残留する農薬を高感度・迅速に測定できるRIMMPA法を基本とするずん席法の開発研究である。 2007/04-Present
  9. プラズマアシストによる熱電半導体マグネシウムシリサイド膜の合成と評価 2011/04-Present

Proposed theme of joint or funded research

  1. Electrostatic elimination system for organic electronics and vacuum process industries (キーワード) Organic device fabrication, Organic materials, Electrostatics, Charge elimination, Corona ionizer. Nitrogen-based atmosphere Wish to undertake joint research with industry and other organizations including private sector. Joint research A part of achievements has been presented at 2014-2015 meetings of IESJ and IEEJ, Japan.
  2. High-sensitivity analysis of organic compounds in gaseous, liquid and solid phases by less-fragmenntation laser mass spectrometry Wish to undertake joint research with industry and other organizations including private sector. Technical consultation,Commisioned research,Joint research 残留農薬分析実験を実施中。100ngオーダーの数種の農薬の検出に成功。さらに感度と迅速性を探究中。
  3. Surfaee modification of 3-D workpleces by plasma-based ion process Wish to undertake joint research with industry and other organizations including private sector. Commisioned research,Joint research
  4. 新規デュアルプラズマ法によるイオンエネルギー制御用いた絶縁性基材の表面処理 Wish to undertake joint research with industry and other organizations including private sector. Commisioned research,Joint research
  5. 新規デュアルプラズマ法によるガラス表面へのナノダイヤモンド成膜 Wish to undertake joint research with industry and other organizations including private sector. Commisioned research,Joint research

Bibliography

  1. 125 years history of IEE of Japan 池畑隆 一般社団法人電気学会 2013/10/11
  2. Discharge plasma engineering 行村建、池畑隆、藤原民也、高木浩一、中村圭二、末松、安藤 オーム社 2008/04
  3. プラズマイオンプロセスとその応用 行村建,政宗貞男,池畑隆,東欣吾,中村圭二,浜口智志,高木浩一,田中武,Wei Ronghua, P.K. Chu オーム社 2005/10
  4. プラズマイオン注入法とその応用 電気学会技術報告 2001/10
  5. Double Layers -Potential Formation and Related Nonlinear Phenomena in Plasmas- Takashi Ikehata, Hiromichi Tanaka, Toshio Tanabe, Hiroshi Mase World Scientific 1997 981-02-3301-9

Papers

  1. Research paper (scientific journal) Joint Static elimination in vacuum Takashi Ikehata, Daisuke Nemoto, Wanting He, Takashi Matsuo, Naoyuki Sato, Kazuo Okano. IEEE Transactions on Industry Applications IEEE 53/ 4, 3989-3994 2017/08/01
  2. Research paper (scientific journal) Joint Solid-phase synthesis of Mg2Si thin film on sapphire substrate ○Motomu Saijo, Kazuhiro Kunitake, Ryota Sasajima, Yuta Takagi, Naoyuki Sato, and Takashi Ikehata JJAP Conference Proceedings 応用物理学会 5/ 011302, 1-6 2017/07/01
  3. Research paper (scientific journal) Joint Study on static neutralization of corona discharge ionizer under reduced pressure for organic electronic devices manufacturing process Takeshi Matsuo, Daisuke Nemoto, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata 静電気学会論文誌 40/ 6, 289-294 2016/11/30
  4. Joint Solid-phase synthesis of Mg2Si thin film on sapphire substrate ○Motomu Saijo, Kazuhiro Kunitake, Ryota Sasajima, Yuta Takagi, Naoyuki Sato, and Takashi Ikehata Abstract of Asia-Pacific Conference on Semiconductor Silicides and Related Materials Science and Technology Towards Sustainable Electronics (APAC SILICIDE 2016) 1/ 1, 1-2 2016/07/17
  5. Research paper (scientific journal) Joint Static Elimination performance of A Corona Ionizer in Nitrogen-Based Electronegative Gases Daisuke Nemoto, Wanting He, Takeshi Matsuo, Naoyuki Sato, Takashi Ikehata, Kazuo Okano. IEEE Transactions on Industry Applications IEEE 52/ 5, 4345-4350 2016/07/01 0093-9994 10.1109/TIA.2016.2582120

Research presentations

  1. Poster presentation 高感度環境モニタリング装置の開発と応用 第65回質量分析総合討論会 2017/05/19
  2. Poster presentation 環境中微量物質の高感度検出に向けたレーザーイオン化質量分析装置の開発 第65回質量分析総合討論会 2017/05/17
  3. Oral presentation(general) Mg/Si同時スパッタ堆積法によるサファイア基板へのMg2Si薄膜合成 第64回応用物理春季学術講演会 2017/03/16
  4. Poster presentation 透明デバイス開発に向けたQMAとOESによる金属-酸素混合プラズマの粒子計測 第24回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会 2016/12/17 講演番号 IBK-16-061
  5. Poster presentation Zn-O2混合プラズマ合成によるZnO透明導電膜の発光デバイスへの応用 第24回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会 2016/12/17 講演番号 IBK-16-059

Intellectual property rights

  1. Patent 除電装置 2016-185417 2016/09/23
  2. Patent 質量分析装置 2011-151647 2011/07/08
  3. Patent プラズマ加速管の形成方法 特願平7-303228 1995/10/17 特開平9-115687
  4. Patent プラズマ表面処理装置 特願2006-120091 2006/04/25 特開2007-294209 2007/11/08
  5. Patent 携帯型大気圧プラズマ発生装置 特願2006-022313 2006/01/31 特開2007-207475 2007/08/16

Prizes

  1. 第7回助成研究成果発表会優秀賞 先進プラズマイオンプロセスによる高機能コーティング被膜の形成技術 2009/05/29 副賞
  2. 第58回科学技術庁注目発明 特開平9-115687「プラズマ加速官の形成方法」 1999/04/11

Alloted class

  1. Electricity and magnetismI
  2. Plasma physics I
  3. Plasma physics II
  4. プラズマ工学特論Ⅰ-Ⅰ
  5. プラズマ工学特論Ⅰ-Ⅱ

Memberships of academic societies

  1. The Japan Society of Applied Physics
  2. The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research -2016/03/31
  3. The Institute of Electrostatics Japan 2015/10/01-Present
  4. The Institute of Electrical Engineers of Japan 2002/04/05-Present

Committee Career

  1. 電気学会 電気学会編修専門第一部会 委員 2014/05/01-2015/04/30
  2. 電気学会 電気学会A部門役員(編修担当) 2013/06/01-2015/05/31
  3. 電気学会 電気学会A部門編修委員会副委員長 2013/06/01-2015/05/31
  4. 電気学会 東京支部茨城支所 支所長 2012/05/01-2014/04/30
  5. 電気学会 プラズマ技術委員会 委員 2010/04/01-2013/03/31