知的財産権

公開件数: 11 件
No. 種別 名称 出願番号 出願日 公開番号 公開日 公表番号 公表日 登録番号 登録日
1 特許
帯電物体の位置決め方法と除電装置
2018-002302
2018/01/11






2 特許
ターゲット損耗検出機構及びそれを備えたスパッタ装置並びにターゲット損耗検出方法
2017-123837
2017/06/26






3 特許
除電装置
2016-185417
2016/09/23






4 特許
質量分析装置
2011-151647
2011/07/08






5 特許
プラズマ加速管の形成方法
特願平7-303228
1995/10/17
特開平9-115687





6 特許
プラズマ表面処理装置
特願2006-120091
2006/04/25
特開2007-294209
2007/11/08




7 特許
携帯型大気圧プラズマ発生装置
特願2006-022313
2006/01/31
特開2007-207475
2007/08/16




8 特許
プラズマ表面処理方法及び装置
特願2002-182259
2002/06/21
特開2004-31461



4484421
2010/04/02
9 特許
プラズマ表面処理方法
特願2005-82646
2005/03/22
特開2005-307349
2005/11/04


4471877
2010/03/12
10 特許
超微細パターン凹構造の形成方法
特願2003-385598
2003/11/14
特開2005-144601
2005/06/09


4346417
2009/07/24
11 特許
プラズママイクロアンジュレータの形成方法
特願平07-210922
1995/07/17
特開平9-35898



3508079
2004/01/09