研究発表

公開件数: 181 件
No. 会議種別 タイトル 会議名 開催年月日 URL 概要
1 ポスター発表
レーザーイオン化質量分析による環境中微量物質のリアルタイム分析
第26回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2018/11/17

講演番号 IBK-18-070
2 ポスター発表
マグネシウム誘起結晶化(Mg-MIC)による多結晶シリコン薄膜の低温合成 #2
第26回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2018/11/17

講演番号 IBK-18-054
3 ポスター発表
不純物同定に向けた透明導電膜合成用Zn-O2混合プラズマの光・粒子計測
第26回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2018/11/17

講演番号 IBK-18-050
4 ポスター発表
プラズマ合成ZnO透明導電膜の真空中抵抗計測
第26回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2018/11/17

講演番号 IBK-18-049
5 ポスター発表
プラズマ合成によるZnO透明薄膜におけるシート抵抗のダイナミックレンジ制

第26回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2018/11/17

講演番号 IBK-18-048
6 ポスター発表
Cu/Cu2O太陽電池の性能に及ぼすECRプラズマを用いた繰り返し酸化還元サイ
クルの効果
第26回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2018/11/17

講演番号 IBK-18-047
7 ポスター発表
プラズマ合成
第26回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2018/11/17

講演番号 IBK-18-044
8 口頭発表(一般)
スパッタ成膜におけるターゲット損耗リアルタイムモニタリング法の提案
第26回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2018/11/17

講演番号 IBK-18-014
9 ポスター発表
Development of laser ionization mass spectrometer (LIMS) for on-line real-time analysis of trace substances in air
7th Asia Oceania Mass Spectrometry Conference
2017/12/13


10 ポスター発表
Real-time mass spectrometry of automobile exhaust gas
with a Multi-Mirror Laser Ionization Mass Spectrometry
7th Asia Oceania Mass Spectrometry Conference
2017/12/13


11 ポスター発表
真空中の静電気除去に関する検討
第25回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2017/11/18

講演番号 IBK-17-024
12 ポスター発表
多面鏡型レーザーイオン化質量分析装置(MM-LIMS)を用いた自動車排出ガスのオンサイト・リアルタイム分析
第25回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2017/11/18

講演番号 IBK-17-044
13 ポスター発表
環境中微量物質のリアルタイム分析に向けた多面鏡型レーザーイオン化質量分析装置の開発
第25回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2017/11/18

講演番号 IBK-17-043
14 ポスター発表
ECR水素・酸素プラズマによる銅板の酸化還元抵抗の真空観測
第25回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2017/11/18

講演番号 IBK-17-042
15 ポスター発表
ソフトウェア支援光干渉法によるプラズマ合成ZnO薄膜の膜厚算出
第25回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2017/11/18

講演番号 IBK-17-041
16 ポスター発表
Langmuir probe measurements in Zn-O2 mixture plasma
第25回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2017/11/18

講演番号 IBK-17-040
17 ポスター発表
高い酸素流量でプラズマ合成されたZnO薄膜におけるシート抵抗の温度依存性
第25回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2017/11/18

講演番号 IBK-17-038
18 ポスター発表
マグネシウム誘起結晶化による多結晶シリコン薄膜の低温合成
第25回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2017/11/18

講演番号 IBK-17-037
19 ポスター発表
真空中のプラズマ除電
第25回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2017/11/18

講演番号 IBK-17-039
20 ポスター発表
高感度環境モニタリング装置の開発と応用
第65回質量分析総合討論会
2017/05/19


21 ポスター発表
環境中微量物質の高感度検出に向けたレーザーイオン化質量分析装置の開発
第65回質量分析総合討論会
2017/05/17


22 口頭発表(一般)
Mg/Si同時スパッタ堆積法によるサファイア基板へのMg2Si薄膜合成
第64回応用物理春季学術講演会
2017/03/16


23 ポスター発表
透明デバイス開発に向けたQMAとOESによる金属-酸素混合プラズマの粒子計測
第24回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2016/12/17

講演番号 IBK-16-061
24 ポスター発表
Zn-O2混合プラズマ合成によるZnO透明導電膜の発光デバイスへの応用
第24回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2016/12/17

講演番号 IBK-16-059
25 ポスター発表
減圧されたN2-O2混合ガス中のACイオナイザ静電気除電特性
第24回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2016/12/17

講演番号 IBK-16-055
26 ポスター発表
Mg2Si固相合成における高温アニールの効果
第24回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2016/12/17

講演番号 IBK-16-054
27 ポスター発表
スパッタ法によるサファイア基板へのMg2Si気相合成
第24回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2016/12/17

講演番号 IBK-16-053
28 ポスター発表
Ca-Zn-O2混合プラズマ中で合成された薄膜の透明導電性の観察
第24回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2016/12/17

講演番号 IBK-16-052
29 ポスター発表
高感度環境モニタリング装置の開発
第24回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2016/12/17

講演番号 IBK-16-051
30 ポスター発表
環境中微量成分検出に向けたレーザーイオン化質量分析用マスゲートの開発
第24回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2016/12/17

講演番号 IBK-16-050
31 ポスター発表
プラズマ合成透明導電膜のシート抵抗及びホール起電力のその場測定
第24回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2016/12/17

講演番号 IBK-16-048
32 ポスター発表
真空中での除電
第24回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2016/12/17

講演番号 IBK-16-047
33 口頭発表(一般)
パルスプラズマジェットによる真空中の除電
第40回静電気学会全国大会
2016/09/29


34 口頭発表(一般)
有機エレクトロニクス製造工程に向けた AC コロナ放電型イオナイザの減圧下での除電特性
2016年度静電気学会春季講演会
2016/03/07

1p-2
35 ポスター発表
サファイア基板上におけるマグネシウムシリサイド薄膜の固相合成-アニール温度の効果
第23回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2015/11/28

講演番号 IBK-15-050
36 ポスター発表
ロードロックプラズマプロセスを用いたZnO透明導電膜の特性再現実験
第23回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2015/11/28

講演番号 IBK-15-047
37 ポスター発表
ECRプラズマ作製Cu/Cu2O型PVセルの特性に与える試料変形の効果
第23回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2015/11/28

講演番号 IBK-15-046
38 ポスター発表
Zn-O2混合プラズマのArガス点火がZnO透明導電膜の特性向上に与える効果
第23回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2015/11/28

講演番号 IBK-15-045
39 ポスター発表
プラズマ合成ZnO透明導電膜の真空中ホール効果測定
第23回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2015/11/28

講演番号 IBK-15-039
40 ポスター発表
Zn-O2混合プラズマ発光とZnO透明導電膜特性の相関観察
第23回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2015/11/28

講演番号 IBK-15-038
41 ポスター発表
ECRプラズマによるCu/p-Cu2OとCu/n-Cu2O型PVセルの作製
第23回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2015/11/28

講演番号 IBK-15-036
42 ポスター発表
有機エレクトロニクス製造工程に向けた減圧下でのイオナイザ静電気除電の研究
第23回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2015/11/28

講演番号 IBK-15-034
43 口頭発表(一般)
サファイア基板上におけるマグネシウムシリサイド薄膜固相合成
第23回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2015/11/28

講演番号 IBK-15-007
44 口頭発表(一般)
有機エレクトロニクス製造工程向け静電気除電システムの研究
第23回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2015/11/28

講演番号 IBK-15-000
45 口頭発表(一般)
亜鉛-酸素混合プラズマを用いた ZnO 透明導電膜の 低抵抗化プロセス
電気学会A部門大会
2015/09/17


46 口頭発表(一般)
水素-酸素磁化プラズマを用いたCu/Cu2O系PVセルの作製プロセス
電気学会A部門大会
2015/09/17


47 口頭発表(一般)
減圧雰囲気におけるイオナイザ除電器の挙動
電気学会A部門大会
2015/09/17


48 ポスター発表
サファイア基板へのマグネシウムシリサイド薄膜固 相合成 - 第二報
電気学会A部門大会
2015/09/17


49 ポスター発表
多面鏡レーザーイオン化質量分析法による微量物質の迅速・高感度測定
電気学会A部門大会
2015/09/17


50 ポスター発表
有機エレクトロニクス製造工程向け除電システムの 研究—減圧雰囲気下での除電—
電気学会A部門大会
2015/09/17


51 ポスター発表
有機エレクトロニクス製造工程向け除電システムの研究-N2-CF3I混合ガス雰囲気における除電-
電気学会A部門大会
2015/09/17


52 口頭発表(一般)
窒素雰囲気中コロナ放電型イオナイザの除電特性に及ぼす負性ガスの効果
電気学会全国大会
2015/03/26

電子デバイス製造工程の静電気対策として,コロナ放電型イオナイザが広く利用されている.また,有機ELなどの製造工程の作業雰囲気は,窒素のような不活性ガスである.しかし,酸素は電子親和力を持つため負イオンとなるが,窒素は電子親和力を持たず,負イオンを形成しない.したがって,空気中では電荷キャリアが正負ともにイオンとなり,正負のイオンバランスが整うが,窒素雰囲気では正イオンと電子となり,易動度が大きく異なるため正負のイオンバランスが崩れる.イオンバランス維持には負性ガスが必要であり,本研究ではN2-O2,N2-SF6混合ガス中における除電特性を,負性ガスの分圧比を変化させながら調査した.その結果,SF6は酸素の1/1000以下の量で空気中と同等の優れた除電特性を達成できることが分かった.
53 口頭発表(一般)
サファイア基板へのマグネシウムシリサイド薄膜固相合成
電気学会全国大会
2015/03/25

マグネシウムシリサイドは、0.7-0.8 eVの禁制帯幅を有する半導体である。高いゼーベック係数を持ち,有害元素を含まず,埋蔵量も豊富なため,環境負荷やコストの観点から非常に有用な熱電変換材料として期待されてきた。しかし、マグネシウムはシリコンに比べて蒸気圧が高く、基板での凝縮係数が低いために,高品質の薄膜を得ることが難しいという問題があった。また、ほとんどの試みはシリコン基板上に合成するものであった。著者らは、はじめてサファイア基板を用いて良質の多結晶Mg2Si薄膜を合成することに成功した。本報告では,合成法と合成膜の構造解析、分光透過率測定などの結果を紹介する。
54 口頭発表(一般)
N2-SF6混合ガス中におけるACコロナ放電イオナイザの静電気除電特性
2015年度静電気学会春季講演会
2015/03/05

1p-7
55 ポスター発表
高機能ZnO透明導電膜合成に必要な高密度プラズマの生成と大電力用合成装置の特性計測
第22回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2014/11/24

講演番号PA20
56 ポスター発表
ECRプラズマ作製におけるCu/Cuo型PVセルの赤外測定温度とセル特性の相関
第22回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2014/11/24

講演番号PA21
57 ポスター発表
窒素雰囲気中コロナ放電イオナイザの静電気除電特性に及ぼす負性ガス混入の効果
第22回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2014/11/24

講演番号PA27
58 ポスター発表
レーザーイオン化質量分析(LIMS)によるバイオ燃料および燃焼排ガス分析の試み
第22回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2014/11/24

講演番号PA34
59 ポスター発表
残留農薬迅速分析に向けた食品抽出物および農薬のレーザーイオン化質量分析
第22回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2014/11/24

講演番号PA01
60 ポスター発表
固相拡散法による単結晶Si基板へのマグネシウムシリサイド(Mg2Si)薄膜合成
第22回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2014/11/24

講演番号PA25
61 ポスター発表
固相拡散法による単結晶サファイア基板へのマグネシウムシリサイド(Mg2Si)薄膜合成
第22回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2014/11/24

講演番号PA26
62 口頭発表(一般)
サファイア基板上Mg/Si共堆積膜のポストアニールによるMg2Si膜固相合成
第75回応用物理学会秋期学術講演会
2014/09/20


63 口頭発表(一般)
N2/O2, N2/SF6混合ガス雰囲気中のコロナ放電イオナイザの除電特性
第75回応用物理学会秋期学術講演会
2014/09/17


64 口頭発表(一般)
帯電物電界を活用したコロナ放電型イオナイザの開発
第38回静電気学会全国大会
2014/09/09


65 口頭発表(一般)
コロナ放電型イオナイザの除電特性に及ぼす負性ガスの効果
第38回静電気学会全国大会
2014/09/09


66 口頭発表(一般)
アルゴン雰囲気中アニールによるMg2Si膜固相合成におけるマグネシウム蒸発の観察
第61回応用物理学会春期学術講演会
2014/03/19


67 口頭発表(一般)
大気圧混合ガス雰囲気におけるコロナ放電型イオナイザの除電特性の研究
2014年度静電気学会春季講演会
2014/03/05

2p-8
68 ポスター発表
Cu/Cu2O型PVセルのECRプラズマ作製におけるCu基材の赤外温度測定
第21回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2013/11/24

講演番号PC06
69 ポスター発表
高機能ZnO透明導電膜の特性向上に与えるZn-O2混合プラズマの磁場閉じ込め効果
第21回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2013/11/24

講演番号PA08
70 ポスター発表
高機能ZnO透明導電膜の特性向上に必要な高密度プラズマ生成用整合回路の製作
第21回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2013/11/24

講演番号PA07
71 ポスター発表
大気圧コロナ放電イオナイザの除電特性に及ぼす酸素分圧の効果
第21回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2013/11/24

講演番号PA05
72 ポスター発表
熱電半導体Mg2Siの固相合成におけるマグネシウム蒸発量の調査
第21回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2013/11/24

講演番号PA04
73 ポスター発表
熱電半導体Mg2Siの固相合成と微細構造解析
第21回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2013/11/24

講演番号PA06
74 ポスター発表
レーザーイオン化質量分析法を用いた食品中残留農薬分析の基礎研究
第21回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2013/11/24

講演番号PA03
75 口頭発表(一般)
HiPIMS-高密度金属プラズマが拓く未来
第74回応用物理学会秋期学術講演会 プラズマエレクトロニクス分科企画シンポジウム「大電力パルススパッタリングによる反応性成膜プロセスの可能性」
2013/09/18


76 口頭発表(一般)
多面鏡型レーザーイオン化質量分析法による残留農薬分析の試み
第61回質量分析総合討論会
2013/09/12


77 ポスター発表
レーザーイオン化質量分析法による残留農薬一斉分析に向けた研究
第61回質量分析総合討論会
2013/09/11


78 口頭発表(一般)
コロナ放電型イオナイザの除電特性に及ぼす雰囲気ガスの効果
第37回静電気学会全国大会
2013/09/10


79 口頭発表(一般)
Si基板上Mgスパッタ膜のアルゴン雰囲気中アニール処理によるMg2Si膜の合成
第60回応用物理学会春期学術講演会
2013/03/30


80 口頭発表(一般)
大電力パルス駆動ペニングスパッタ装置における高密度プラズマの生成に関する研究
電気学会プラズマ研究会
2013/03/16


81 口頭発表(一般)
コロナ放電荷電粒子の生成と輸送特性に及ぼす雰囲気ガスの効果
電気学会プラズマ研究会
2013/03/16


82 口頭発表(一般)
レーザーイオン化質量分析法による残留農薬一斉分析に向けた研究
電気学会プラズマ研究会
2013/03/16


83 口頭発表(一般)
Si基板上Mgスパッタ膜のアニール処理によるMg2Siの合成と微細構造解析
電気学会プラズマ研究会
2013/03/16


84 口頭発表(一般)
高機能ZnO透明導電膜のシート抵抗低減に向けた亜鉛-酸素混合プラズマの高密
度化
電気学会プラズマ/パルスパワー合同研究会
2012/12/10


85 口頭発表(一般)
Si基板上Mgスパッタ膜のアニール処理によるMg2Siの合成
電気学会プラズマ/パルスパワー合同研究会
2012/12/10


86 ポスター発表
ECRプラズマ作製によるCu/Cu2O型PV特性の磁化プラズマ照射条件依存性
第20回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2012/11/24

講演番号PA32
87 ポスター発表
高機能ZnO透明導電膜の特性向上に及ぼすプラズマ密度の影響
第20回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2012/11/24

講演番号PA31
88 ポスター発表
ECRプラズマ作製によるCu/Cu2O型PV特性の観察
第20回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2012/11/24

講演番号PA30
89 ポスター発表
大気圧コロナ放電による荷電粒子の生成・輸送特性
第20回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2012/11/24

講演番号PA27
90 ポスター発表
レーザーイオン化質量分析法による農薬分析の高感度化
第20回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2012/11/24

講演番号PA26
91 ポスター発表
レーザーイオン化質量分析法による多種混合農薬分析
第20回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2012/11/24

講演番号PA25
92 ポスター発表
ペニングスパッタ装置における高密度プラズマの生成と大電力パルス動作
第20回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2012/11/24

講演番号PA24
93 ポスター発表
希ガス雰囲気中アニール処理によるMg2Siの合成 - 雰囲気圧力特性
第20回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2012/11/24

講演番号PA23
94 ポスター発表
希ガス雰囲気中アニール処理によるMg2Siの合成 - アニール温度特性
第20回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2012/11/24

講演番号PA22
95 口頭発表(一般)
レーザーイオン化質量分析による農薬の高感度分析
第29回センシングフォーラム
2012/09/27


96 口頭発表(一般)
レーザーイオン化質量分析による食品残留農薬の迅速分析の試み
第29回センシングフォーラム
2012/09/27


97 口頭発表(一般)
レーザーイオン化質量分析による残留農薬測定法の開発研究-試料導入条件の調査-
電気学会プラズマ/パルスパワー合同研究会
2011/12/17


98 口頭発表(一般)
ICP合成によるZnO透明導電膜の光吸収係数のプロセス条件依存性
電気学会プラズマ/パルスパワー合同研究会
2011/12/16


99 口頭発表(一般)
Cu2O系PVセルのECR酸素プラズマ作製におけるセル特性のプロセス条件依存性
電気学会プラズマ/パルスパワー合同研究会
2011/12/16


100 口頭発表(一般)
イオンビームによる半導体や絶縁物表面の平坦化
電気学会プラズマ/パルスパワー合同研究会
2011/12/15


101 ポスター発表
大電力パルススパッタによるMg2Siプラズマの発生と成膜
第19回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2011/11/19

講演番号PA18
102 ポスター発表
ICP合成によるZnO透明導電膜の近赤外光透過率の観測
第19回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2011/11/19

講演番号PA20
103 ポスター発表
Cu2O系PVのECR酸素プラズマ作成における光起電力のPV抵抗依存性
第19回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2011/11/19

講演番号PA22
104 ポスター発表
Cu2O系PVのECR酸素プラズマ作成における光起電力の基板温度依存性
第19回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2011/11/19

講演番号PA23
105 ポスター発表
Cu2O系PVのECR酸素プラズマ作成における起電力の空間分布
第19回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2011/11/19

講演番号PA24
106 ポスター発表
残留農薬迅速分析法の開発研究—試料の気化・輸送条件と感度との関係
第19回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2011/11/19

講演番号PA17
107 ポスター発表
低エネルギープラズマビーム照射に よる半導体基板の加工
第19回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2011/11/19

講演番号PA17
108 ポスター発表
ICP合成におけるZnO透明導電膜の移動度とプラズマプロセス条件の相関
第19回 電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2011/11/19

講演番号PA21
109 口頭発表(招待・特別)
高密度・高電離度金属プラズマの発生に関する研究
電気学会プラズマ研究会
2011/08/07


110 口頭発表(一般)
Cu2O/ZnO系PVの作製に向けたECRリモート酸素プラズマによる銅基板の酸化実験
電気学会プラズマ/パルスパワー合同研究会
2010/12/18


111 口頭発表(一般)
ICP合成によるZnO透明導電膜のプラズマパラメータ依存性
電気学会プラズマ/パルスパワー合同研究会
2010/12/18


112 口頭発表(一般)
大電力パルスマグネトロンスパッタによる高密度メタルプラズマの生成と空間分布
電気学会プラズマ/パルスパワー合同研究会
2010/12/18


113 口頭発表(一般)
集束型デュアルプラズマにおける高密度プラズマの生成と帯電中和特性
電気学会プラズマ/パルスパワー合同研究会
2010/12/18


114 口頭発表(一般)
ICP合成によるPET上ZnO透明導電膜の基材温度依存性
電気学会プラズマ/パルスパワー合同研究会
2010/12/18


115 口頭発表(一般)
TOF質量分析装置を用いた分子性ガスのイオン化断面積の測定と残留農薬分析への応用
電気学会プラズマ/パルスパワー合同研究会
2010/12/17


116 口頭発表(一般)
高感度チャージプレートモニターとバイアスグリッドを用いた空気イオンバランス制御システム
電気学会プラズマ/パルスパワー合同研究会
2010/12/17


117 ポスター発表
ICP合成によるZnO透明導電膜のシート抵抗のAr流量依存性
第18回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2010/11/14


118 ポスター発表
ICP合成によるZnO透明導電膜のシート抵抗のプラズマパラメータ依存性
第18回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2010/11/14


119 ポスター発表
大電力パルススパッタを用いた高密度メタルプラズマの生成に関する研究
第18回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2010/11/14


120 ポスター発表
Cu2O系PVの作製におけるZn-O2混合磁化プラズマのプローブ測定
第18回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2010/11/14


121 ポスター発表
Cu2O系PVの作製におけるZn-O2混合磁化プラズマ特性の空間分布測定
第18回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2010/11/14


122 ポスター発表
レーザーイオン化質量分析による食品中残留農薬の迅速測定に向けた研究
第18回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2010/11/14


123 ポスター発表
Cu2O系PVの製作における銅基板のプラズマ酸化特性
第18回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2010/11/14


124 ポスター発表
ICP合成によるZnO透明導電膜のシート抵抗の膜厚依存性
第18回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2010/11/14


125 ポスター発表
集束型デュアルプラズマの形成に関する研究
第18回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2010/11/14


126 ポスター発表
ダブルバーストプラズマを利用した絶縁物の低温スパッタリングの準備
第18回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2010/11/14


127 ポスター発表
ICP合成によるPET上ZnO透明導電膜のシート抵抗の基材温度依存性
第18回電気学会東京支部茨城支所研究発表会
2010/11/14


128 口頭発表(一般)
デュアルプラズマ法による絶縁物表面の加工特性
電気学会プラズマ研究会
2010/05/07


129 口頭発表(一般)
デュアルプラズマイオンプロセスによる絶縁性基材の電位と入射イオンエネルギーの制御
第54回応用物理学関係連合講演会
2007/03/30


130 口頭発表(一般)
プラズマイオンプロセスにおける絶縁物の帯電と制御
第54回応用物理学関係連合講演会
2007/03/30


131 口頭発表(一般)
シャンティングアークを用いた複合プラズマにおける分光特性
電気学会プラズマ研究会
2006/11/10


132 口頭発表(一般)
デュアルプラズマイオンプロセスによる絶縁性基材の帯電制御
電気学会プラズマ研究会
2006/05/26


133 口頭発表(一般)
シャンティングアークによりトリガされた正バイアス電極に発生する誘起プラズマ特性
電気学会プラズマ研究会
2006/05/26


134 口頭発表(一般)
ToF-SIMSにおける絶縁物試料の帯電と電界放射中和電子源の検討
第53回応用物理学関係連合講演会予稿集
2006/03/25

講演番号25p-F-22/
135 口頭発表(一般)
多極管型CNT電界放射電子源の基礎実験
第53回応用物理学関係連合講演会予稿集
2006/03/25

講演番号25p-F-23/
136 口頭発表(一般)
動重力効果を利用したプラズマイオンの選択的運動量制御によるZnO薄膜合成実験
電気学会プラズマ研究会
2006/01/13

講演番号PST-06-34
137 口頭発表(一般)
デュアルプラズマ含浸イオンプロセスによる絶縁物の表面処理
電気学会プラズマ研究会
2006/01/13

講演番号PST-06-28
138 口頭発表(一般)
プラズマイオン照射に伴うC60薄膜からの尖塔構造形成
電気学会プラズマ研究会
2006/01/13

講演番号PST-06-23
139 口頭発表(一般)
正パルスバイアスPBII&D法によるTiNコーティングの予備実験
電気学会プラズマ研究会
2006/01/13

講演番号PST-06-33
140 口頭発表(一般)
接点開離金属アークを種とする正バイアス電極を用いたプラズマ生成
電気学会プラズマ研究会
2006/01/13

講演番号PST-06-19
141 口頭発表(一般)
正バイアス電極を用いたシャンティングアークによる誘起プラズマの生成
電気学会プラズマ研究会
2006/01/13

講演番号PST-06-25
142 口頭発表(一般)
CNTを用いた多極管型電界放射電子源の基礎特性
電気学会プラズマ研究会
2006/01/12

講演番号PST-06-4
143 口頭発表(一般)
質量選択的運動量制御によるZnO薄膜合成に向けた原料堆積プロセスのロードロック観察
第13回 電気学会茨城支所研究発表会
2005/11/26

講演番号PA41
144 口頭発表(一般)
C60プラズマ中の粒子種計測
第13回 電気学会茨城支所研究発表会
2005/11/26

講演番号PA38
145 口頭発表(一般)
質量選択的運動量制御によるZnO薄膜合成に向けたプラズマ中イオン種の観測
第13回 電気学会茨城支所研究発表会
2005/11/26

講演番号PA40
146 口頭発表(一般)
デュアルプラズマ配位によるプラズマイオンプロセスの研究
第13回 電気学会茨城支所研究発表会
2005/11/26

講演番号PA11
147 口頭発表(一般)
質量選択的運動量制御によるZnO薄膜合成に向けた酸素プラズマへのZn蒸気導入
第13回 電気学会茨城支所研究発表会
2005/11/26

講演番号PA39
148 口頭発表(一般)
高周波容量結合型大気圧プラズマの分光計測
第13回 電気学会茨城支所研究発表会
2005/11/26

講演番号PA33
149 口頭発表(一般)
カーボンナノチューブを用いた小型真空多極管の基礎特性
第13回 電気学会茨城支所研究発表会
2005/11/26

講演番号PA06
150 口頭発表(一般)
正パルスバイアス・プラズマイオン注入・堆積(PBII&D)法によるTiN成膜の基礎実験
第13回 電気学会茨城支所研究発表会
2005/11/26

講演番号PA08
151 口頭発表(一般)
正バイアス・プラズマイオンプロセスの展開
電気学会プラズマ研究会
2005/10/27

講演番号PST-05-91
152 口頭発表(一般)
プラズマイオン照射に伴うC60ウィスカー表面の炭素ネットワーク変化
第52回応用物理学関係連合講演会
2005/03/30

講演番号30a-D-5/I
153 口頭発表(一般)
質量選択的運動量制御によるZnO薄膜の合成に向けた磁場中酸素プラズマへの亜鉛蒸気導
第52回応用物理学関係連合講演会
2005/03/30

講演番号30a-E-6/I,II
154 口頭発表(一般)
VHF滞誘導結合プラズマ(VHF-ICP)を用いたダイヤモンドの加工
第52回応用物理学関係連合講演会
2005/03/30

講演番号30a-G-2/I,II
155 口頭発表(一般)
プラズマイオン注入におけるパイプ基材内部のプラズマとシースの挙動
第52回応用物理学関係連合講演会
2005/03/30

講演番号30a-F-11/I
156 口頭発表(一般)
正パルスバイアスのプラズマイオン注入・堆積表面改質法Ⅱ
第52回応用物理学関係連合講演会
2005/03/30

講演番号30a-F-10/I
157 口頭発表(一般)
質量選択的運動量制御によるZnO薄膜の合成に向けた磁場中酸素プラズマの電圧−電流特性
第52回応用物理学関係連合講演会
2005/03/29

講演番号29a-E-1/I,II
158 口頭発表(一般)
プラズマイオン注入(PBII)プロセスの2次元PICシミュレーション
第12回 電気学会茨城支所研究発表会
2004/11/13

講演番号PA13
159 口頭発表(一般)
大面積ガラス基板上へのナノ結晶ダイヤモンド膜の合成
第12回 電気学会茨城支所研究発表会
2004/11/13

講演番号PA12
160 口頭発表(一般)
動重力効果を利用したイオンの選択的運動量制御によるZnO薄膜のプラズマ合成実験
第12回 電気学会茨城支所研究発表会
2004/11/13

講演番号PA11
161 口頭発表(一般)
プラズマイオン注入表面改質法における二次電子電流その場測定の試み
第12回 電気学会茨城支所研究発表会
2004/11/13

講演番号PA10
162 口頭発表(一般)
針状固体C60のプラズマ処理-プラズマイオン照射が固体表面構造に与える影響
第12回 電気学会茨城支所研究発表会
2004/11/13

講演番号PA08
163 口頭発表(一般)
正パルスバイアス・プラズマイオン注入表面改質法における金属ライナーの試作と性能評価
第12回 電気学会茨城支所研究発表会,PA09
第12回 電気学会茨城支所研究発表会
2004/11/13

講演番号PA09
164 口頭発表(一般)
プラズマイオンプロセスとプラズマ源
電気学会プラズマ研究会(東京支部連合講演会)
2004/09/10

講演番号PST-04-55
165 口頭発表(一般)
正パルスバイアスのプラズマイオン注入・堆積表面改質法
第65回応用物理学会学術講演会
2004/09/03

講演番号3p-N-9
166 口頭発表(一般)
200mm直径ターゲットでのチタン陰極アークPBII&D成膜特性と電流分布
2003年電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集
2003/08/25


167 口頭発表(一般)
微粒子状物質の高感度・高分解能質量分析法の開発
第50回応用物理学関係連合講演会
2003/03/30

講演番号
168 口頭発表(一般)
RIMMPA分析装置のためのヘアピン型分子ジェットバルブの特性評価
第50回応用物理学関係連合講演会
2003/03/30

講演番号
169 口頭発表(一般)
プラズマイオン注入における正パルスバイアス法の提案
第50回応用物理学関係連合講演会
2003/03/30

講演番号
170 口頭発表(一般)
チタン陰極アークプラズマ中に置かれたトレンチ基材におけるパルス電圧印加に伴うイオンシース挙動およびオン電流特性
電気学会プラズマ研究会
2003/03/13

講演番号PST-03-13
171 口頭発表(一般)
プラズマイオン注入における正パルスバイアス法の提案と原理検証実験
電気学会東京支部茨城支所研究発表会予稿集
2002/11/30

講演番号
172 口頭発表(一般)
微粒子に付着する極微量物質の高感度・高分解能分析技術の開発
電気学会東京支部茨城支所研究発表会予稿集
2002/11/30

講演番号
173 口頭発表(一般)
微量分析装置(RIMMPA)のための超音速ジェットバルブの改良と動作機構の解明
電気学会東京支部茨城支所研究発表会予稿集
2002/11/30

講演番号
174 口頭発表(一般)
プラズマイオン注入における基材の3次元形状効果-2次電子の捕捉とイオン電流分布-
電気学会プラズマ研究会
2002/10/25

講演番号PST-02-112
175 口頭発表(一般)
プラズマイオン注入における基材の三次元形状効果
平成14年電気学会基礎・材料・共通部門大会
2002/09/19

講演番号P-14
176 口頭発表(一般)
パイプ内面でのプラズマイオン注入窒化チタン製膜におけるイオンシースの挙動と接地ロッドの影響
電気学会放電研究会
2002/07/26

講演番号ED-02-78
177 口頭発表(一般)
プラズマイオン注入におけるトレンチ形状基材のシース 形成と底部イオン電流増強効果
電気学会プラズマ研究会
2002/04/26

講演番号PST-02-41
178 口頭発表(一般)
A study on ion current of inner surface of an 80-mm diameter pipe during deposition of TiN Film by Plasma-Based Ion Implantation and Deposition
電気学会プラズマ研究会
2002/04/25

講演番号PST-02-40
179 口頭発表(一般)
孤立高周波電場を用いたプラズマ電位計測の試み
第49回応用物理学関係連合講演会
2002/03/28

講演番号28p-ZG-8/III
180 口頭発表(一般)
多面鏡を用いた超高感度レーザー共鳴イオン化質量分析法(RIMMPA)の開発
第49回応用物理学関係連合講演会
2002/03/28

講演番号28p-ZG-8/III
181 口頭発表(一般)
プラズマの基礎と気体プラズマ源
第17回イオン工学特別シンポジウム(京都イオンプラズマフォーラム主催,電気学会プラズマ技術委員会共催)
2002/01/18